Hysitron PI 85L

布鲁克的SEM PicoIndenter系列是深度感应的纳米力学测试系统，专门设计用于与扫描电子显微镜（SEM、FIB/SEM）的高级成像能力联用。有了这些系统，可以进行定量纳米力学测试，同时使用SEM进行成像。Hysitron PI 85L SEM PicoIndenter 是一款专用的原位纳米力学测试仪器，专为 SEM 使用而设计，但也适用于各种平台和环境。该仪器采用布鲁克电容式传感器与极快的 78 kHz 控制系统配合使用，在纳米尺度下提供卓越的性能和稳定性。紧凑的小尺寸设计使该系统非常适合腔体、拉曼和光学显微镜、同步辐射光束线等。

一、亮点

1）独特------性能、稳定性和控制

提供超低噪音水平、极快的反馈控制和专有的 Q 控制软件，用于主动抑制振动。

2）多功能------原位力学测试平台

支持各种几何尺寸样品的的力学测试模式、多种控制模式和可更换压头。

3）紧凑------紧凑设计

为小腔室 SEM、拉曼和光学显微镜、光束线等提供易于安装的理想系统。

二、特点

1）专为高性能和多功能性而设计

Hysitron PI 85L 的样品台设计能容纳厚度达 10 mm 的样品，同时提供三个方向 （XYZ）  3 mm 范围的精确样品定位。此外，样品和传感器的机械耦合为纳米力学测试提供了一个稳定、刚性的平台。总之，这种设计可实现最大的倾斜度和最小工作距离，在测试期间实现最佳成像效果。

2）与 SEM 成像同步的原位力学数据

使用 Hysitron PI 85L 采集的原位力学数据与 SEM 成像同步，且并排显示。同时进行机械测量和SEM成像可全面了解材料变形行为。

3）精确使用各种模式探索材料变形行为

Hysitron PI 85L 可采用多种不同模式，在各种不同样品中测试基本力学性能、应力应变行为、刚度、断裂韧性和变形机制。

除了标准的测试模式外，PI 85L 还可以升级，并可使用可选模式进一步扩展其功能。从加热选项到电特性，PI 85L 可根据您的需求进行调整。

三、附件

提供最广泛的创新表征技术------选项和附件

1） SEM 和 TEM 加热台------直接测量和观察热导致的材料转化；

2） 纳米动力学模式------施加振荡力，持续测量粘弹性和疲劳特性，作为接触深度、频率和时间的函数

3）电学特性模块(ECM)------在纳米压痕、压缩或拉伸加载期间同时进行原位电特性测量

4）压转拉模块(PTP)------专为纳米线和独立薄膜而设计

 四、相关图片

1）经过如图所示的力学测试后，在Cu互联层和脆电介质层之间观察到面间分层

2）高熵合金三个不同结构微区的纳米压痕成像和对应的载荷-位移曲线（仅显示低载荷部分）

3）在室温（左上）和 800℃（右上）环境中粘结涂层柱子压缩后的形貌。在室温下测试的柱子中可以清楚地看到穿晶破裂，而在高温下才出现晶间破裂。应力应变曲线（下图）表明在室温下有较大的应变硬化，而在较高的温度下更为有限

4）金属薄膜 1 Hz 动态载荷测试中应用的载荷振幅（红色）和总位移（蓝色）的图示

5）压缩VLS法生长的n型掺杂的硅纳米柱时的电学表征。 D.D. Stauffer 博士论文，“纳米级脆性材料的变形机理”，明尼苏达大学（2011），第 150-152 页

6）加载/卸载与位移的曲线（左），以及 PTP 装置偏转下位移和加载与时间的曲线（右）。其中线性弹性行进距离大于 4 μm