DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计，可实现 4Å （0.4nm） 的无与伦比的重复性，扫描速度可提高 40%。探针式轮廓仪性能的这一重大里程碑是 Dektak® 五十多年创新和行业领导地位的顶峰。DektakXT 结合了行业第一的技术和设计，可提供极致的性能、易用性以及价值，实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT 的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。

1）台阶高度重复性4 Å

*单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性

*先进的”智能化电子器件”实现了低噪声的新标 准—新的硬件配置使数据采集能力提高了40%

*64位 的Vision64同步数据处理软件，将数据 分析速度提高十倍。

2）功能卓越，操作简易

*直观的Vision64用户界面操作流程简便易行

*自对准式探针设计使得更换探针的步骤简便易行

3）探针轮廓仪业界翘楚，无可匹敌的价值

* 性能优异, 物超所值

*独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量

台阶仪性能优劣取决于以下三方面: 测量重复性, 测试速度和操作难易程度，这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。DektakXT采用全新的仪器系统构造和最优化的测量及数据处理软件来实现可靠、快速和简易的样品检测，达到最佳的仪器使用效果。

4）提高操作的可重复性

DektakXT 的多处领先设计保证了其无人能及的表现, 达到优于 5 埃的测量重复性. 使用单拱龙门结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时，Bruker 完善了仪器的智能化电子器件，提高了其工作性能的稳定性，降低温度变化对器件的影响，并且采用最先进的数据处理器。在控制器电路中使用智能敏化电子器件，会把

系统和环境噪音引起的测量误差降到最低。因此采用DektakXT 测量系统，能够更稳定可靠地扫描高度小于10nm 的台阶，获得其形貌特征。单拱龙门结构和智能器件的联用，大大降低了基底噪音，增强了稳定性，使其成为一个极具竞争力的表面轮廓仪。

5）提高测量和数据分析速度

首次采用独特高速的直接驱动扫描样品台, DektakXT 在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大缩短了每次扫描的间隔时间。这一改进，提高了进行大范围 3D 形貌表征或者表面长程应力扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下，可以将数据采集处理的速度提高 40%。另外DektakXT 采用 Bruker 具有 64 位数据采集同步分析的Vision64，它可以提高大范围 3D 形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。Vision64 还具有最有效直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。

6）简便易行的实验操作系统

为了便于操作可供多用户使用的系统，一个必要条件就是能够迅速简便地更换不同模式所需要的探针。DektakXT新颖的探针和部件自动对准装置，可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。这一改进使原来费时耗力的实验步骤变得简便易行。为尽可能满足所有应用的需求，布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针，其中包括专为深槽测量定制的高深宽比的探针。

7）完善的数据采集和分析系统

与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上最实用简洁的用户界面，具备智能板块，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。简明的测量窗口集参数设定与硬件控制于一体，极富逻辑性，既可使不常使用仪器者轻松回忆起如何操作，又可使操作老手不至于为过多的基本重复步骤而烦恼或分心。

数据获取后，软件的自动调平，台阶识别分析，以及数据分析模块的各种滤波功能等使得分析简便快捷。使用数据分析模块，不论是通过一个程式来处理单次扫描结果的标准分析，还是尝试使用多种滤波设置和计算，使用者都可以清晰地看到数据处理结果以及其他可用的分析手段。

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1）DektakXT 的 64 位并行处理 Vision64 在更短的时间里完成并处理大型 3D 数据文件

2）Dektak XT的扫描探针可实现同时大垂直范围和低力扫描

3）DektakXT 的 Vision64 显著简化并加快了操作和数据分析

4）DektakXT 具有最快、最简单的换针流程。可提供各种探针，以满足最广泛的应用

5）DektakXT 对复合电路板进行3D扫描